用于增强未发布 MEMS 谐振器 Q 值的声学布拉格反射器 JUL 2R9PDF书籍下载

原名:Acoustic Bragg Reflectors for Q-Enhancement of Unreleased MEMS Resonators JUL 2R9
作品简介:用于 Q 增强的声学布拉格反射器未发布的集成到前端 (FEOL) 处理中，使这些器件成为.. 单片集成的动机包括增强信号传导、防止 Ni 金属化（金属导线到这……