原名:Electro-Acoustic and Electronic Applications Utilizing Thin Film Aluminium Nitride by David Michael Martin
作品简介:在高功率高频应用中进行了研究。最后,AlN 的作用引领了基于薄膜的电声 (TEA) 电极的研究,可减少迁移效应并取代 Al 以实现高功率应用,每种材料具有独特的性能,定义了其声速、……

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