聚合物陶瓷 MEMS 双压电晶片作为热红外传感器 作者：Clinton Gregory Warren A …PDF书籍下载

原名:Polymer-Ceramic MEMS Bimorphs as Thermal Infrared Sensors by Clinton Gregory Warren A …
作品简介:机械工程哲学博士基于 MEMS 聚合物陶瓷双压电晶片梁的机械红外传感器。基于传感器。……