原名:design of capacitive micromachined ultrasonic transducer for underwater acoustic imaging
作品简介:6.2 膜设计和模拟结果的频率分析。 41 多用户微机电系统 (MEMS) 流程。 MUT。微机械超声波换能器。无损检测。非破坏性测试。 ODT ..电容式转换活塞通过枢转梁彼此耦合。……
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原名:design of capacitive micromachined ultrasonic transducer for underwater acoustic imaging
作品简介:6.2 膜设计和模拟结果的频率分析。 41 多用户微机电系统 (MEMS) 流程。 MUT。微机械超声波换能器。无损检测。非破坏性测试。 ODT ..电容式转换活塞通过枢转梁彼此耦合。……
