III-V/SOI 波导电路的化学机械抛光工艺开发 Muhammad …PDF书籍下载

原名:Chemical-mechanical polishing process development for III-V/SOI waveguide circuits Muhammad …
作品简介:穆罕默德·穆尼布。 III-V/SOI 波导电路。化学机械抛光工艺的开发。学院 2009-2010。院系……