原名:Mems-Based Waste Vibration and Acoustic Energy Harvesters
作品简介:[11] SU-8：MEMS 厚光刻胶。 （2013 年 12 月）。 MEMS百科全书。 [在线的]。可用：http://memscyclopedia.org/su8.html。十一月访问……
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原名:Mems-Based Waste Vibration and Acoustic Energy Harvesters
作品简介:[11] SU-8：MEMS 厚光刻胶。 （2013 年 12 月）。 MEMS百科全书。 [在线的]。可用：http://memscyclopedia.org/su8.html。十一月访问……
