原名:Front End Processes by Herbert Bennett
作品简介:前端工艺 (FEP) 路线图重点关注与规模化场效应晶体管 (MOSFET)、DRAM 存储电容器和非易失性存储器（闪存、相变和铁电）相关的未来工艺要求和潜在解决方案。本章的目的是定义……
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原名:Front End Processes by Herbert Bennett
作品简介:前端工艺 (FEP) 路线图重点关注与规模化场效应晶体管 (MOSFET)、DRAM 存储电容器和非易失性存储器（闪存、相变和铁电）相关的未来工艺要求和潜在解决方案。本章的目的是定义……
